ID963364

SatursAizvērt

Nr.	Sadaļas nosaukums	Lpp.
	IEVADS	4
	TĒMAS AKTUALITĀTE	4
	ТEHNISKAIS VAKUUMS	6
	FIZISKAIS VAKUUMS	7
	FIZIKAS VAKUUMA METODES	8
1.	UZ FIZIKĀLAJĀM METODĒM ATTIECAS	8
1.1.	ТERMOVAKUUMĀLĀ APSMIDZINĀŠANA	8
1.2.	JONU-PLAZMAS METODES PLĀNO PLĒVJU IEGŪŠANAI	8
1.2.1.	КАTODĀLĀ APSMIDZINĀŠANA	8
1.2.2.	ТRĪSELEKTRODU APSMIDZINĀŠANAS SISTĒMA	8
1.2.3.	AUGSTFREKVENČU APSMIDZINĀŠANA	8
1.2.4.	REAKTĪVĀ APSMIDZINĀŠANA	8
1.2.5.	МАGNETRONĀ APSMIDZINĀŠANA	8
1.3.	JONU-STARU METODES PLĀNO PLĒVJU IEGŪŠANAI	8
1.4.	МOLEKULĀRĀ-STARU EPITAKSIJA	8
1.5.	LĀZERĀ APSMIDZINĀŠANA	8
2.	UZ KĪMISKAJĀM VAKUUMA METODĒM ATTIECAS	8
2.1.	REAKTĪVĀ KATODU APSMIDZINĀŠANA	8
2.2.	GĀZFĀŽ MOS-HIDRĪDĀ EPITAKSIJA	8
3.	ĶĪMISKĀS ĀRPUSVAKUUMĀS METODES	8
3.1.	ELEKTROKĪMISKĀ PĀRKLĀJUMU NOGULSNĒŠANĀS	8
3.2.	ĶĪMISKĀ METALIZĀCIJA	9
1.1.	TERMOVAKUMUUĀLĀ APSMIDZINĀŠANA	10
1.2.	PLĀNO PLĒVĪŠU IEGŪSANAS JONU PLAZMAS METODES	12
1.2.1.	КАTODĀ IZSMIDZINĀŠANA	13
1.2.2.	ТRĪSELEKTRODU IZSMIDZINĀŠANAS SISTĒMA	16
1.2.3.	AUGSTFREKVENČU IZSMIDZINĀŠANA	17
1.2.4.	REAKTĪVĀ IZSMIDZINĀŠANA	19
1.2.5.	МAGNETRONĀ IZSMIDZINĀŠANA	21
1.3.	PLĀNO PLĒVĪŠU IEGŪŠANAS JONU STARU METODES	22
1.4.	МOLEKULĀRĀ STARU KŪĻA EPITAKSIJA	24
	APSMIDZINĀŠANA AR LĀZERU	25
2.	VAKUUMA ĶĪMISKĀS METODES	26
2.1.	REAKTĪVĀ KATODU IZSMIDZINĀŠANA	26
2.2.	GĀZFĀŽU MOS-HIDRĪDĀ EPITAKSIJA	26
2.3.	ŠĶIDRĀS FĀZES EPITAKSIJA	27
3.	ĶĪMISKĀS ARPUSVAKUUMĀ METODES	28
3.1.	ELEKTROĶĪMISKĀ PĀRKLĀŠANA	28
	ĶĪMISKĀ METALIZĀCIJA	29
	LITERATŪRAS SARAKSTS	31
	SECINĀJUMI	33

Darba fragmentsAizvērt

DARBA MĒRĶIS: Uz teoretisko un praktisko petījumu par plāno plēvju izsmidzināšanu pamata, izstradāt rekomendācijas, lai uzlabotu šo metodi.
1.Teorētisko aspektu par plāno plēvju izsmidzināšanu ar dažādiem paņēmieniem, izziņa.
2.Vakurma ierīces sastāva izziņa.
3.Plāno plēvju izsmidzināšanas ar vakuuma metodi izziņa.
PĒTĪJUMA METODES:
Teorijas par plāno plēvju izsmidzinšānu ar vakuuma metodi analīze.
VAKUUMS1 (no lat. vacuum — tukšuns) — vide, kas satur gāzi pie spiediena, kas ir zemāks par atmosfēras spiedienu. Vakuums raksturojas ar attiecību starp λ gāzes molekulu brīvā skrējiena garumu un d procesa raksturīgu izmēru. Ar d var tikt pieņemts attālums starp vakuuma kameras sienām, vakuuma caurules diametru u.t.t. Atkarībā no attiecības λ/d lieluma izsķir zemo (λ/d<< 1), videjo (λ/d~1) un augsto (λ/d >>1) vakuumu.
Ir jāizšķir tehniskā un fiziskā vakuuma jēdzienus.
ТEHNISKAIS VAKUUMS1
Praksē ļoti izretinātu gāzi sauc par tehnisko vakuumu. Makroskopiskā apjomā ideālais vakuums nav sasniedzams praksē, jo pie galīgās temperatūras visiem materiāliem ir nenulles piesātinātu tvaiku blīvums. Bez tam daudzi materiāli (tai skaitā biezi metāliskie, stikla un citas trauka sienas) ir gāzes caurlaidīgi. Mikroskopiskos apjomos, tomēr, ideāla vakuuma sasniegšana principā ir iespējama. Vakuuma izretināšanas pakāpes mērs ir gāzes < λ > molekulu brīvā skrējiema garums, kas saistīts ar to, sasvtarpējām sadursmēm gāzē, un rakturīgu līnijveida izmeru/trauku, kurā atrodas gaze.…

Autora komentārsAtvērt

Plāno plēvīšu uzpūtināšanas metodes